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TU Berlin

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Fachgebiet Technologie von siliziumbasierten Höchstfrequenzschaltungen (SIH)

200 mm Si Wafer bearbeitet im Reinraum des IHP
200 mm Si Wafer bearbeitet im Reinraum des IHP
Lupe

Willkommen auf der Internetseite des Fachgebietes Technologie von siliziumbasierten integrierten Höchstfrequenzschaltungen (Halbleitertechnologie) an der Technischen Universität Berlin!

Leitung:

Hier finden Sie alle relevanten Informationen zu Lehre, Forschung und Service.

Auf Basis einer modernen Infrastruktur mit Klasse 1 Reinraum werden Si Halbleitertechnologien für sehr hohe Frequenzen für Anwendungen in der Kommunikationstechnik und Sensorik erforscht. Durch die Entwicklung von sehr schnellen SiGe Heterobipolartransistoren werden Frequenzbereiche erschlossen, die vorher nur mit Verbindungshalbleitern möglich waren. Einer „More Than Moore“ Strategie folgend werden Module mit zusätzlicher Funktionalität (Si Photonik, MEMS, Sensoren) in die Technologie integriert. Die Forschungsarbeiten werden in enger Zusammenarbeit mit dem IHP in Frankfurt (Oder) durchgeführt. Mehr dazu unter Forschung

Das Wissen über Halbleitertechnologien vermitteln wir in der Vorlesung „Si/SiGe Halbleitertechnologien für Höchstfrequenzanwendungen“ und im Vertiefungspraktikum „Technologie integrierter Schaltungen“. Mehr dazu unter Studium und Lehre.

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